MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS压电微镜采用压电驱动，具有体积小、重量轻、低电压驱动、功耗低等优点。在激光雷达、生物医疗、微型投影等有广泛的应用需求。

爱游戏体育在线官方网址近期已研发出MEMS压电微镜系列产品，可以实现从版图设计到工艺流片的完整工艺流程，并提供从单个微镜芯片到微镜阵列的开发。

软件仿真（有限元分析模态振型）

工艺流程仿真

已成功流片的MEMS微镜芯片

测试结果

可以实现在低电压驱动下实现大角度的偏转。

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