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压电微机械超声流量传感器

压电微机械超声流量传感器

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一、压电微机械超声换能器(PMUT)

 

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PMUT是基于压电能量转换的一种超声波换能器，通常由压电薄/厚膜、上下电极、支撑层以及空腔组成;通过压电膜驱动整个振膜区域振动，并向外辐射超声波。

 

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PMUT特点：

声阻抗低-易与气体和液体进行耦合

尺寸小-1mm~15mm可调

可批量化制备-成本低、一致性好

易与IC集成

 

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超声流量计是根据超声波传播速度随气体或液体流速的变化而变化的原理制成的流量传感器，其中气体流量超声换能器通常频率为100KHz~1MHz，液体流量超声换能器通常频率在1M~5MHz。

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超声流量计是根据超声波传播速度随气体或液体流速的变化而变化的原理制成的流量传感器，其中气体流量超声换能器通常频率为100KHz~1MHz，液体流量超声换能器通常频率在1M~5MHz。

 

现有的超声换能器可以很好的满足使用要求，不过其通常尺寸较大，不易安装到管道内部;

PMUT则拥较小尺寸，同时易与大规模生产制造。

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现有的超声换能器可以很好的满足使用要求，不过其通常尺寸较大，不易安装到管道内部; PMUT则拥较小尺寸，同时易与大规模生产制造。

 

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产品型号： C3-200K-3 封装后尺寸：≤5*5mm²

裸芯片尺寸：3*3mm²  封装形式： QFN或DFN

接收灵敏度：20mV(一发一收模式，驱动电压：25Cycle，Vpp=5V，方波，收发换能器间距55mm)

 

 

Model

Frequency

Sensitivity/mV

Driving mode

Distance

Driving Voltage/V

Chip Size/mm3

C3-W350-1
（静态电容：860 pF±10%；
指向性：28°（half angle））

300K

23

45 Cycle方波

35mm

5V

3*3*1
(After packaging)

18

25 Cycle方波

35mm

5V

50

连续

35mm

5V

22

45 Cycle方波

55mm

5V

18

25 Cycle方波

55mm

5V

35

连续

55mm

5V

C3-D250-4
（静态电容:
1300 pF±10%；
指向性：10°（half angle））

800K

19

25 Cycle方波

25mm

10V

3*3*1
(After packaging)

25

连续

25mm

10V

25

25 Cycle方波

25mm

20V

32

连续

25mm

20V

C3-D250-1
（静态电容:
1800 pF±10%；
指向性：20°（half angle））

400K

33

45 Cycle方波

55mm

10V

3*3*1
(After packaging)

28

 35 Cycle方波

55mm

10V

21

25 Cycle方波

55mm

10V

58

连续

55mm

10V

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