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公司是专业从事MEMS(微电子机械系统)软件研究开发和硬件设计制造的高科技企业,拥有国际先进水平的MEMS、微米纳米设计技术。公司的宗旨是不断开拓市场,提供微纳设计服务。公司在美、欧、日、韩等20个国家和地区设有分支机构、研发队伍及销售代理商。

公司主要业务:

● 软件业务:世界一流MEMS专业设计软件。

○IntelliSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟、利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量(场)耦合分析,以及MEMS-IC的系统级分析仿真。为MEMS器件设计提供完整的解决方案。

 

● 硬件业务:MEMS设计与加工平台。

○ 各类MEMS传感器的设计、生产、封装、测试、咨询。包含压电传感器、压力传感器、温/湿度传感器、陀螺、加速度计、微流体传感器、射频开关等MEMS传感器。
○ 300多平方米微纳传感器芯片加工超净间。包含键合、光刻、刻蚀等MEMS关键工艺。
○ MEMS/CMOS设计、CMOS低功耗电路设计、低功率传感器接口电路设计等。

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