lntelliSuite软件可以实现各种MEMS器件从版图设计，工艺设计到器件性能设计以及系统设计的完整设计流程。可以完成工艺仿真结构的直接提取，网格划分再到多物理场分析，以及参数化分析。

在这个例子中将会展示工艺仿真结构的提取，网格划分和多物理场分析，即通过物理级仿真，IntelliSuite的工艺仿真模块FabSim可以为用户提供一个精确逼近真实结果的结构，在进行后续有限元分析之前，IntelliSuite可以提取工艺仿真的结构，将体素模型转化成几何模型，经过必要的简化后，网格划分引擎可以对这个几何模型进行处理，构建FEA模型，并用于后续的多物理场分析中。以下这款加速度计的例子是用IntelliSuite软件工具设计后正式流片的真实器件，它的设计流程将会完整诠释IntelliSuite软件的强大功能。

1、物理级工艺仿真

2、提取核心部件

3、构建几何模型

4、自动网格划分

5、它的工作原理是质量块被施加了一定的加速度后，器件内部产生应力，应力又影响压阻阻值的大小，提取压阻子模型，通过再施加合适的负载，如下图所示，得到压阻子模型的电势分布和温度分布，通过测量PADl和PAD3的电势，可以得到能够反映加速度的电势差。

（负载示意图）

（电势云图）

（温度云图）

6、分析后可以得到加速度的性能曲线，从测量多组数据可以看出本器件具有良好的线性关系。