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lntelliSuite软件可以分析刻蚀关键工艺对器件结构的影响。刻蚀工艺包括湿法刻蚀和干法刻蚀。
硅的湿法刻蚀
1、高阶晶向刻蚀
物理级工艺仿真模块Fabsim 的湿法刻蚀引擎可以进行高阶晶向的刻蚀，用户可以在工艺流程编辑器IntelliFab 中的定义衬底参数里设置需要的晶向指数。下图可以看到不同的晶向在相同腐蚀条件下腐蚀后有不同的形貌。
2、刻蚀参数影响
Fabsim 湿法刻蚀预设了温度、刻蚀液浓度等参数对刻蚀速率的影响，用户可以在IntelliFab 里修改对应参数。下图可见其他条件相同，不同温度下腐蚀形貌的差异。
3、蚀液影响
Fabsim 湿法刻蚀允许用户进行多种刻蚀液的刻蚀模拟，用户可以在IntelliFab 里添加不同刻蚀液的刻蚀步骤。
干法刻蚀
1、迟滞效应
Fabsim 中干法刻蚀引擎有能力仿真微小尺寸开口下的迟滞效应（ARDE 效应）。
2、微负载效应
Fabsim 中干法刻蚀引擎有能力仿真微小尺寸开口下的微负载效应（Micro-loading 效应）。
3、预设参数
IntelliSuite 提供预设参数来实现干法刻蚀中滞迟效应和微负载效应的各种组合，用户可以在IntelliFab 的DRIE 刻蚀参数中设置。
IntelliFab 的DRIE 刻蚀参数
滞迟效应和微负载效应的各种组合
4、校准工具
IntelliSuite 提供针对Fabsim 干法刻蚀引擎预设参数的校准工具，该工具可以根据特定实验结果提取刻蚀深度数据校准刻蚀引擎的参数，从而达到与真实刻蚀结果一致的刻蚀仿真结果。
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